EDWARDS愛德華分子泵維修Cryo-Plex16低溫泵

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產(chǎn)品型號：2203
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2024-04-19
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詳情介紹

Cryo-Plex 16 低溫泵

考慮全面的高效設(shè)計，使得Cryo-Plex 10低溫泵可以實現(xiàn)兩倍于8寸低溫泵的抽速，是理想的潔凈、無油高真空排氣方案。

標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用：半導(dǎo)體、空間環(huán)境模擬、真空鍍膜以及各種研發(fā)領(lǐng)域

配置靈活

支持ANSI、ISO、CF等多種法蘭接口

用一臺M600氦氣壓縮機可以同時驅(qū)動單臺或者兩臺Cryo-Plex10 低溫泵，從而節(jié)省空間、電能和維護工作。對于需要多臺低溫泵的大型真空室，是非常理想的選擇。

標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計

Austin Scientific的Cryo-Plex 系列低溫泵、壓縮機可以與Helix品牌的CryoTorr系列低溫泵、壓縮機相互兼容和替換，從而大大方便使升級、維修、交換等服務(wù)。

參數(shù)

Cryo-Plex 10 - Gas pumping speeds liters/second
Air	3,000
Water	9,000
Hydrogen	5,000
Argon	2,500
Gas capacities - standard liters @ 5x10-6 Torr
Hydrogen	24
Argon	2,000
Throughput
Argon sccm	1,500
Crossover
Torr-liters	300
Cool down time
60 Hertz	60 Min
Cryopump measurements
Height	23.9"
Weight LBS	85
Inlet flange	ANSI/ISO/CF

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